在2001年制定的第十個(gè)國(guó)家五年計(jì)劃中，中國(guó)政府強(qiáng)調(diào)了有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積磊晶技術(shù)（簡(jiǎn)稱(chēng)MOCVD）研發(fā)的重要性。從此，中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研發(fā)所開(kāi)始不斷加強(qiáng)MOCVD技術(shù)創(chuàng)新及市場(chǎng)化的研發(fā)能力。
位于北京的中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所致力于促進(jìn)中國(guó)半導(dǎo)體材料科學(xué)的發(fā)展和推廣。在過(guò)去的六年內(nèi)，他們制造出世界上第一批立方相氮鎵發(fā)光二級(jí)管。在成功將藍(lán)光二級(jí)管（LED）技術(shù)轉(zhuǎn)入生產(chǎn)應(yīng)用后，他們的努力都集中在短波長(zhǎng)激光二極管、紫外探測(cè)器、高效LED和磁性半導(dǎo)體。最近該研究所成功地制造出幾種高靈敏度的紫外探測(cè)器，并在藍(lán)光激光二極管研發(fā)方面取得顯著進(jìn)步。
MOCVD技術(shù)作用有機(jī)金屬盒特殊氣體在反應(yīng)器內(nèi)發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)，在有機(jī)分子通過(guò)熱基板時(shí)，使其分解，從而沉積磊晶，而廢棄的殘余物則被除去或沉積在反應(yīng)器壁上。MOCVD能生產(chǎn)出高純度和結(jié)構(gòu)秩序的III-V半導(dǎo)體。由于該工藝要求有毒易燃?xì)怏w正常流動(dòng)，氣流系統(tǒng)必須非�？煽恳源_保安全。世偉洛克正是提供了氣體反應(yīng)裝置的關(guān)鍵氣體控制配件。
世偉洛克半導(dǎo)體服務(wù)公司（SSSC）擁有高純度制造設(shè)備，致力于半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新、已客戶(hù)為中心的團(tuán)隊(duì)成為向半導(dǎo)體研究院提供解決方案的****選擇。世偉洛克提供快速報(bào)價(jià)、加快訂單進(jìn)程、專(zhuān)業(yè)客戶(hù)和技術(shù)服務(wù)以及快速產(chǎn)業(yè)分析，來(lái)滿足以快速和高互動(dòng)性技術(shù)研發(fā)為特點(diǎn)的半導(dǎo)體行業(yè)需求。
但中國(guó)至今沒(méi)有生產(chǎn)MOCVD設(shè)備的專(zhuān)業(yè)廠家，企業(yè)必須花費(fèi)大量資金從國(guó)外購(gòu)買(mǎi)。進(jìn)口的MOCVD設(shè)備價(jià)格不菲，而且使用過(guò)程中維護(hù)和零配件的采購(gòu)不僅昂貴且存在很多的不方便。目前中國(guó)自主研發(fā)的設(shè)備僅為同類(lèi)骨外設(shè)備價(jià)格的三分之一。因此，半導(dǎo)體研究所的研發(fā)努力對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展至關(guān)重要。
在此次研究生產(chǎn)Gan的多片結(jié)構(gòu)MOCVD設(shè)備的過(guò)程中，中科院半導(dǎo)體研究所的研究人員發(fā)現(xiàn)目前管線在氣體進(jìn)出線路設(shè)計(jì)上有所不足，即原先使用的閥門(mén)是一個(gè)五通閥，氣體二進(jìn)三出，只能通過(guò)一個(gè)手柄控制氣流進(jìn)出，造成各路氣體進(jìn)氣不便、氣體的流量調(diào)節(jié)精度差，容易產(chǎn)生“死區(qū)”的問(wèn)題，因此需要重新設(shè)計(jì)整個(gè)管線流程。同時(shí)由于整個(gè)項(xiàng)目驗(yàn)收在即，研究人員需要一家能夠提供從管線設(shè)計(jì)到具體配件選擇和整套焊接等一系列解決方案的專(zhuān)業(yè)流體系統(tǒng)配件提供商。世偉洛克因此組成包含來(lái)自中國(guó)和美國(guó)的員工的團(tuán)隊(duì)來(lái)迎接這個(gè)挑戰(zhàn)。
經(jīng)驗(yàn)豐富的世偉洛克銷(xiāo)售服務(wù)代表和現(xiàn)場(chǎng)工程師對(duì)該所的研究人員的需求進(jìn)行了評(píng)估，協(xié)助半導(dǎo)體研究所的研究人員進(jìn)行氣路改造設(shè)計(jì)，制定了兩個(gè)分別應(yīng)用于常規(guī)氣源和MO源設(shè)備的解決方案，使用了世偉洛克（Swagelok（r））6LVV系列閥門(mén)配件，并安裝了VCR和Micro-Fit接頭。
中科院半導(dǎo)體研究所的項(xiàng)目負(fù)責(zé)人評(píng)價(jià)說(shuō)：世偉洛克在提供了高質(zhì)量的閥門(mén)配件以外，這種全新的整合服務(wù)理念，不僅靈活地為我們解決了技術(shù)上的難題，同時(shí)也大大節(jié)省了我們的時(shí)間和成本，使我們可以專(zhuān)心地進(jìn)行研發(fā)，而將所有流體系統(tǒng)的問(wèn)題放心地交給世偉洛克來(lái)解決。
該項(xiàng)目持續(xù)了六個(gè)半月。世偉洛克北京的銷(xiāo)售和服務(wù)代表幫助協(xié)調(diào)，并與上海的世偉洛克中國(guó)總部及位于克利夫蘭的美國(guó)總部緊密合作。
世偉洛克的技術(shù)人員不僅對(duì)設(shè)計(jì)圖改進(jìn)提出專(zhuān)業(yè)建議，同時(shí)根據(jù)設(shè)計(jì)圖需求協(xié)助客戶(hù)選擇合適的閥門(mén)和接口。所有的這些閥門(mén)配件均由世偉洛克位于美國(guó)的工廠制造生產(chǎn)，再將客戶(hù)所選擇的閥門(mén)配件就地焊接后成套交付給客戶(hù)，進(jìn)而節(jié)省了安裝時(shí)間和成本。大大提升整套氣路的密閉性和調(diào)節(jié)線性度，保障系統(tǒng)的安全、可靠和完整性。
世偉洛克項(xiàng)目負(fù)責(zé)人李維升回憶說(shuō)；在與中科院半導(dǎo)體研究所溝通尋求解決方案的過(guò)程中，我們共進(jìn)行了三十多次現(xiàn)場(chǎng)勘察，結(jié)合世偉洛克領(lǐng)先全球的流體技術(shù)、高質(zhì)量的產(chǎn)品和獨(dú)特的整合服務(wù)，以及本土和美國(guó)總部技術(shù)人員的齊心合作是令這個(gè)專(zhuān)案順利完成的關(guān)鍵。
世偉洛克為半導(dǎo)體應(yīng)用提供范圍廣泛的高純度和超高純度流體系統(tǒng)配件，包括隔膜閥、含氟聚合物閥和管材、PFA接頭、陶瓷過(guò)濾器、UHP傳感器、IGC(r)II模塊化氣體系統(tǒng)和垂直流量傳感器。
世偉洛克將繼續(xù)秉持預(yù)見(jiàn)客戶(hù)所需，并開(kāi)發(fā)創(chuàng)新產(chǎn)品，來(lái)支持半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，滿足客戶(hù)需求。
